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日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統 同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度！ NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區小1mm，可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據SEMI標準。
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